半導体関連の工場・クリーンルームに使える補助金：成長加速化補助金なら最大5億円
半導体製造装置の部品加工、樹脂製品、表面処理、マテハン機器など、半導体関連の工場・クリーンルームの新設にも、中小企業成長加速化補助金（補助率1/2・上限5億円）を使えます。1次・2次の採択事業名にも、半導体に関わるものが複数あります。
制度の内容は 2026/11/10 に公募要領等で最終確認しました。
- 補助率・上限
- 1/2・5億円
- 投資額の要件
- 1億円以上
- 半導体関連の工場・クリーンルームに関わる採択事業名
- 17件
出典 5
半導体関連の工場・クリーンルームに使える国の主な補助金の比較
建屋の建設まで補助の対象になる国の補助金は、主に中小企業成長加速化補助金（上限5億円・1/2）と、新事業進出・ものづくり商業サービス補助金の新事業進出枠（上限7,000万円・特例9,000万円）です。中小企業省力化投資補助金（一般型）は建物の取得費用が対象外で、自動化の設備・システムに使う制度です。投資額が15億円を超えるなら、大規模成長投資補助金（上限50億円・1/3）も候補になります。
| 制度 | 補助上限 | 補助率 | 建物費 | 規模の目安 | 主な要件 | 公募 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 中小企業成長加速化補助金6 | 5億円 | 1/2 | 対象（建物の建設・改修。単なる購入・賃貸は対象外） | 投資額1億円以上（税抜）。売上高10億円以上100億円未満の中小企業 | 100億宣言の公表、1人当たり給与支給総額の年平均上昇率4.5%以上 | 3次公募は受付終了。4次は未発表 |
| 新事業進出・ものづくり商業サービス補助金（新事業進出枠）（新事業進出・ものづくり商業サービス補助金 公募要領（第2回）1.0版 表紙・p8・p11・p28） | 7,000万円（賃上げ特例9,000万円）※従業員101人以上の場合 | 1/2（特例2/3） | 新事業進出枠・グローバル枠のみ対象（単なる購入・賃貸は対象外） | 補助下限額750万円 | 付加価値額の年平均成長率4.0%以上、1人当たり給与支給総額の年平均成長率3.5%以上など | 第2回公募：2026年12月25日（金）15:00締切 |
| 中小企業省力化投資補助金（一般型）（中小企業省力化投資補助事業（一般型）公募要領（第9回）p8・p22） | 8,000万円（大幅賃上げ特例1億円）※従業員101人以上の場合 | 1/2（特例2/3） | 対象外（土地・建物・構築物の取得費用は対象外） | 機械装置・システム構築費が必須 | 省力化につながる設備・システムの導入 | 第9回公募7 |
| 中堅・中小企業の大規模成長投資補助金（100億宣言枠）（成長加速化補助金 3次公募要領 概要資料 p9） | 50億円 | 1/3 | 要確認8 | 投資額15億円以上 | 100億宣言枠は100億宣言と賃上げ率4.5%以上（枠以外は投資額20億円以上・賃上げ率5.0%以上） | 別の事務局が案内 |
国が支出する他の制度と同一または類似内容の事業に、重複して補助金を受けることはできません9。どの制度が合うかは、投資額・売上規模・投資の目的で決まります。迷ったら、相談の中で整理します。
半導体関連の工場・クリーンルームに関わる採択事業名（17件）
1次・2次の採択430件のうち、補助事業名に「半導体」「クリーン」「ウエハ」などを含むものは17件（1次6件・2次11件）でした。本社所在地は山梨県2件、静岡県2件、愛知県2件などです。事業名の語で抜き出したため、施設の種類と完全には一致しない場合があります。
| 補助事業名 | 本社 | 公募 |
|---|---|---|
| 世界的に拡大する半導体・鉄道車両市場の期待に応え、〔社名〕が共に100憶円企業に成長するための新工場設立プロジェクト | 東京都 | 1次 |
| 新棟増設による半導体製造装置向け設計・高付加価値部品加工・組立・FAの統合ソリューション強化事業 | 山梨県 | 1次 |
| マテハン機器製造能力と生産体制の増強とクリーン対応による半導体産業への貢献 | 岐阜県 | 1次 |
| 半導体洗浄装置用樹脂製品の増産体制構築と高付加価値化による成長加速化計画 | 静岡県 | 1次 |
| わが国の半導体戦略をささえるプラスチック加工のプロフェッショナル製造強化事業 | 静岡県 | 1次 |
| 半導体用薬品貯蔵タンク等供給体制強化による成長加速化事業 | 兵庫県 | 1次 |
| 革新的な製造拠点の整備と積極的な人材投資による半導体・医療機器分野のサプライチェーン強靭化事業 | 秋田県 | 2次 |
| 新工場建設によるスマートファクトリー化で、海外展開と半導体需要対応強化による成長加速化事業 | 山形県 | 2次 |
| 半導体産業の需要急拡大に応える新工場建設と飛躍的な生産能力増強 | 福島県 | 2次 |
| 新工場建設による供給体制拡充と、設計開発型企業への進化を通じたAI・半導体等の高付加価値な新市場への進出 | 石川県 | 2次 |
| 医療・先端半導体分野のODM体制構築による高付加価値市場への挑戦と自立的成長の実現 | 山梨県 | 2次 |
| 次世代電池・半導体・GX分野を支える高機能ファインセラミックスの量産体制確立に向けた新工場建設事業 | 愛知県 | 2次 |
| 次世代半導体を支える高純度流体制御技術の革新と東南アジア展開計画 | 愛知県 | 2次 |
| 世界シェア半導体フォトレジスト生産を支える撹拌機開発 | 大阪府 | 2次 |
| 倉庫兼クリーンルームの建物新設(奈良県大淀町) | 大阪府 | 2次 |
| 次世代半導体・EV製造を支えるAI・AMR基盤の構築。新FAセンター設立によるサプライチェーン強靭化 | 和歌山県 | 2次 |
| 次世代半導体産業及び防衛・航空宇宙産業を支える、国際品質規格適合の高度表面処理(鍍金)能力増強計画 | 熊本県 | 2次 |
何が補助の対象になるか
クリーンルームを含む建屋と設備
投資計画の実施に不可欠な建物と、その設備は建物費・機械装置費の対象になりえます。区分は申請時の申告とそろえます。1
研究開発は対象外
研究開発に係る費用は補助対象外で、研究開発に必要な設備投資も対象外となる可能性があります。量産・生産の設備と分けて整理します。2
地域への配慮
事務局は「経済指標等を踏まえた配慮を行います」と回答しています。特定の地域が有利と定めた規定はありません。3
審査で問われやすいこと（当社の見方）
半導体関連は需要の波が大きい業界です。特定の用途・顧客に頼らない計画（複数の用途や業界への展開）があると、5年の売上計画の根拠になると当社は考えています（実現可能性：3次公募要領 p22）。
設備工事・電気工事の会社が、半導体工場の案件の増加を受けて設計拠点やプレハブ加工場を整備する計画もありえます。工事の受注増を、自社の売上・付加価値の伸びとして示します。
参考までに、2次公募の採択者の売上高投資比率（最新決算期の全社売上高に対する、補助事業全体に要する経費の割合）の中央値は54.7%（申請全体は38.5%）、補助事業全体に要する経費の中央値は11.3億円でした4。
補助額の試算
よくある質問
Q. 熊本など半導体の集積地の企業が有利ですか？
A. 特定の地域が有利と定めた規定はありません。事務局は「地域に波及力ある成長企業を創出していく観点から経済指標等を踏まえた配慮を行います」と回答しています3。
Q. 試作・開発用のクリーンルームは対象ですか？
A. 研究開発に係る費用は補助対象外で、研究開発に必要な設備投資も対象外となる可能性があります2。量産・生産のための設備かどうかを分けて事務局に確認します。
Q. 着工を急いでいます。採択の前に発注してもよいですか？
A. 交付決定より前に契約・発注（発注先への内示を含む）した経費は、採択後であっても補助の対象外です10。着工の時期は、交付決定から逆算して決めます。
半導体関連の工場・クリーンルームの計画で、使えるかを60分で確かめる
構想段階のままで大丈夫です。60分で、使えるかどうかと準備の順番をお伝えします。見積・図面・決算書は、なくても構いません。使えない場合や、今回は見送るべき場合は、そうお伝えします。
まず要件だけ確かめたい方は 5問の診断 へ。
出典
- 3次公募要領 p9〜p10・p14
- よくある質問 A59
- よくある質問 A11
- 概要資料 p12
- 3次公募要領 p1・p12、100億企業成長ポータル 1次・2次採択者一覧（公開情報）
- 3次公募要領 Ver1.4 p1・p2・p5・p9・p12
- 公募要領を公開中
- 公募要領 制度の公募要領で確認
- よくある質問 A26
- 3次公募要領 p17・p23、よくある質問 A4
公開日 2026/11/10／更新日 2026/11/10